مكونات الفراغ هي الوحدات الوظيفية الأساسية التي تشكل نظام الفراغ. إنهم مسؤولون عن تحقيق والحفاظ على بيئة محددة منخفضة الضغط في مكان مغلق ودعم العملية ذات الصلة. وتكمن قيمته الأساسية في خلق والتحكم في ظروف بدنية خاصة تختلف عن الضغط الطبيعي.
تحتاج هذه الأجهزة عمومًا إلى التعامل مع المتطلبات الصارمة للبيئات ذات كثافة الغاز المنخفضة للغاية. تتطلب عمليات التصميم والتصنيع الخاصة بها معالجة عملية خاصة لتقليل إطلاق الغاز من المادة نفسها وضمان السلامة الهيكلية وموثوقية الختم على المستوى المجهري. وتشمل الوظائف استخراج الغاز، والتحكم في التدفق، والعزل والفصل، وإدراك حالة الضغط، والتوصيل الاتجاهي لطاقة أو مواد معينة في الفراغ.
إن التآزر بينهما يمكّن النظام من تحقيق مستويات مختلفة من ظروف العمل والحفاظ عليها بشكل ثابت بدءًا من الفراغ الخام إلى الفراغ العالي للغاية، مما يوفر الدعم اللازم للعمليات اللاحقة في بيئة الفراغ. ويحدد أدائها بشكل مباشر نقاء واستقرار وإمكانية التحكم في الظروف الداخلية للغرفة المفرغة، والتي بدورها تؤثر على دقة وتكرار العمليات الفيزيائية أو الكيميائية المختلفة التي تعتمد على هذه البيئة.
يعد اختيار وتكوين مكونات الفراغ هو الاعتبار الأساسي لبناء حلول فراغ فعالة وموثوقة، ويستخدم على نطاق واسع في مجالات البحث الصناعية والعلمية مع التحكم الصارم في بيئات الغاز.