كوب الشفط من سلسلة ZP3P
سلسلة ZP3P من نوع الفراغ الطولي مع المخزن المؤقت
إن نوع ZP3P من النوع الطولي للفراغ الطولي مع المخزن المؤقت هو دليل تدفق الجسيمات المصمم لبيئات الفراغ العالية. وتتمثل مهمتها الأساسية في تحقيق استخراج فعال ومستقر لحزم الجسيمات الطولية. وفي الوقت نفسه، يعمل على تحسين ديناميكيات نقل الجسيمات من خلال الهياكل العازلة المتكاملة لتلبية احتياجات العمليات الصناعية الدقيقة.
الميزات التقنية الرئيسية
بنية استخراج الفراغ الطولي
تم اعتماد تصميم قناة التفريغ المتناظرة محوريًا لضمان أن تدفق الجسيمات يكون اتجاهيًا على طول المحور الرئيسي للمعدات، وتجنب تشويه مجال التدفق الناجم عن الاستخراج الجانبي، والحفاظ على سلامة تدفق الهواء في غرفة التفريغ.
آلية المخزن المؤقت المضمنة
تحقق وحدة المخزن المؤقت الديناميكي المدمجة متعددة المراحل التنظيم المسبق لتدفق الجسيمات عالية الطاقة من خلال تنظيم تدرج الطاقة غير المتصل، مما يقلل من اختلاف مساحة طور الجسيمات، ويوفر شعاع الجسيمات مع موازاة أفضل للعمليات النهائية.
تصميم متوافق مع الفراغ
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10-5 Pa and above.
تحسين ديناميكيات ناقل الحركة
يحقق التصميم المنسق للوحدة العازلة وقناة الاستخراج ضغطًا نشطًا لطيف طاقة الجسيمات، ويمنع بشكل فعال فقدان التشتت ويحسن جودة الشعاع، وهو مناسب بشكل خاص لسيناريوهات التطبيق ذات المتطلبات الصارمة على أحادية اللون.
القدرة على التكيف مع النظام الصناعي
تدعم واجهة الحافة القياسية التكامل المعياري ويمكن أن تتصل بسلاسة بغرف معالجة التفريغ المختلفة. يعمل تصميم هيكلها غير الممغنط على توسيع نطاق تطبيقها في البيئات الحساسة للمجال المغناطيسي.
